成膜参数对TiN-MoS2/Ti复合薄膜摩擦学性能的影响

来源 :兵工学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wish_hjl

【摘要】

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本研究利用钻削、切削实验及XPS测试等手段考察了非平衡纳米复合等离子体镀膜技术中成膜参数对TiN-MoS2/Ti复合涂层的摩擦学性能及其理化性能的影响.实验发现靶距、沉积气压

【作者】

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荆阳庞思勤周兰英钟生东

【机构】

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北京理工大学机械工程及自动化学院,北京理工大学光电工程系

【出处】

：

兵工学报

【发表日期】

：

2002年3期

【关键词】

：

成膜参数 TiN-MoS2/Ti复合涂层摩擦学性能切削性能非平衡纳米复合等离子体镀膜 XPS测试 TiN-MoS2/Ti composite coatin

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本研究利用钻削、切削实验及XPS测试等手段考察了非平衡纳米复合等离子体镀膜技术中成膜参数对TiN-MoS2/Ti复合涂层的摩擦学性能及其理化性能的影响.实验发现靶距、沉积气压及Ti添加剂含量等参数的变化对复合涂层的成分和性能产生了明显的作用.结果表明,通过调整选择合适的工艺参数,可以得到较高耐磨寿命的TiN-MoS2/Ti复合涂层.

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