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本文详细地叙述了ITO／SiO2双膜系溅射用中频电源（以下简称为PEⅡ）的报警电路设计的思路、工作原理及其对整个ITO镀膜工艺的重要贡献。
ITO／SiO2双膜系溅射用中频电源的报警装置
【摘 要】
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本文详细地叙述了ITO／SiO2双膜系溅射用中频电源（以下简称为PEⅡ）的报警电路设计的思路、工作原理及其对整个ITO镀膜工艺的重要贡献。
【机 构】
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安徽华光玻璃集团有限公司
【出 处】
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中国玻璃
【发表日期】
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2001年4期
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