【摘 要】
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本文根据镜象法的原理,从理论上导出了不同情况下,直线形和圆形绝缘边界对扩展电阻测量影响的数学表达式,并用实验加以证实.在磨角的斜面上进行纵向杂质浓度分布的扩展电阻测
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本文根据镜象法的原理,从理论上导出了不同情况下,直线形和圆形绝缘边界对扩展电阻测量影响的数学表达式,并用实验加以证实.在磨角的斜面上进行纵向杂质浓度分布的扩展电阻测量时,必须计及结附近绝缘边界的修正,以免导致错误.
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