【摘 要】
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微纳米颗粒的去除是半导体、微电子、微型机械、精密光学等高新技术中的关键问题,而常规清洗方法难以有效去 除。近年来国际上发展的DLC、SLC激光去除方法非常有效,本文对DLC
【机 构】
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海军潜艇学院核动力教研室,中国科学院工程热物理研究所 青岛266071中国科学院工程热物理研究所,北京100080,北京100080
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微纳米颗粒的去除是半导体、微电子、微型机械、精密光学等高新技术中的关键问题,而常规清洗方法难以有效去 除。近年来国际上发展的DLC、SLC激光去除方法非常有效,本文对DLC、SLC的实验方法、去除机制、影响因素和规律等进 行综述,指出了存在的问题。
The removal of micro-nano-particles is a key issue in high-tech industries such as semiconductors, microelectronics, micro-mechanics and precision optics. However, conventional cleaning methods are difficult to remove effectively. In recent years, the international development of the DLC, SLC laser removal method is very effective, this article on the DLC, SLC experimental methods, removal mechanism, influencing factors and laws were reviewed, pointed out the existing problems.
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