Effect of Annealing Temperature on the Formation of Silicides and the Surface Morphologies of PtSi F

来源 :Journal of Materials Science & Technology | 被引量 : 0次 | 上传用户：duchze

【摘要】

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The effect of annealing temperature on the formation of the PtSi phase. distribution of silicides and the surface morphologies of silicides films is investigat

【出处】

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Journal of Materials Science & Technology

【发表日期】

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2001年01期

【关键词】

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Annealing annealing ESCA Figure Mayer

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The effect of annealing temperature on the formation of the PtSi phase. distribution of silicides and the surface morphologies of silicides films is investigated by XPS. AFM. It is shown that the phase sequences of the films change from Pt-Pt2Si-PtSi-Si to Pt+Pt2Si+PtSi-PtSi-Si or Pt+Pt2Si+PtSi-PtSi-st with an increase of annealing temperature and the reason for the formation of mixed layers is discussed. The effect of annealing temperature on the formation of the PtSi phase. Distribution of silicides and the surface morphologies of silicides films is investigated by XPS. AFM. It shows shown the the phase sequences of the films change from Pt-Pt2Si-PtSi-Si to Pt + Pt2Si + PtSi-PtSi-Pt or Pt2Si + PtSi-PtSi-st with an increase of annealing temperature and the reason for the formation of mixed layers are discussed.

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