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三氟碘甲烷由于其优良的蚀刻性能和安全环保的特性,是未来用于制造超大规模集成电路器件的精密刻蚀工艺极具潜力的氟碳类刻蚀气体的替代品。介绍了三氟碘甲烷的理化性质,综述了含氟化合物的蚀刻机制及三氟碘甲烷在蚀刻方面的优良性能和应用研究进展。
三氟碘甲烷刻蚀性能和应用研究进展
【摘 要】
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三氟碘甲烷由于其优良的蚀刻性能和安全环保的特性,是未来用于制造超大规模集成电路器件的精密刻蚀工艺极具潜力的氟碳类刻蚀气体的替代品。介绍了三氟碘甲烷的理化性质,综述
【机 构】
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浙江省化工研究院有限公司含氟温室气体替代及控制处理国家重点实验室
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2018年6期
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