HHB-66-И1型多弧离子镀膜设备的性能分析

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介绍了前苏联生产的HHB-66-M1型多弧离子镀膜机的技术条件、结构形式、性能特点。与美国MULTI-ARC公司生产的MAV-32D多弧离子镀膜机的性能进行了对比分析。 The technical conditions, structure forms and performance characteristics of the HHB-66-M1 multi-arc ion plating machine produced in the former Soviet Union are introduced. The performance of MAV-32D multi-arc ion plating machine produced by MULTI-ARC Company in USA was compared and analyzed.
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