【摘 要】
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通常用光学干涉仪进行高精度尺寸测量。在某些测量中要求干涉仪体积小、稳定性高、坚固耐用。为了探测运动方向,必须对以往的干涉仪进行改进。有两种可解决问题的方法,其一,
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通常用光学干涉仪进行高精度尺寸测量。在某些测量中要求干涉仪体积小、稳定性高、坚固耐用。为了探测运动方向,必须对以往的干涉仪进行改进。有两种可解决问题的方法,其一,用集成光学技术在硅片上制作双迈克尔逊干涉仪。其二,在单片上的单迈克尔逊干涉仪采用了自差调制和解调技
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