【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备Zn1-xMgxO（x=0.1、0.2、0.3、0.4、0.5、0.6（mol））薄膜.X射线衍射谱测试结果发现,在0.1〈x〈0.3范围内薄膜仍然保持氧化锌六角形纤锌矿结构,（002）
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采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备Zn1-xMgxO（x=0.1、0.2、0.3、0.4、0.5、0.6（mol））薄膜.X射线衍射谱测试结果发现,在0.1〈x〈0.3范围内薄膜仍然保持氧化锌六角形纤锌矿结构,（002）衍射峰向大角度方向移动,当x超过0.3时出现氧化镁立方相.对于Zn0.7Mg0.3O薄膜,在5.0、5.5、6.0℃.min^-1的升温速率下,升温速率越快结晶程度越好.在相同升温速率下,随着退火温度从500℃升高到560℃,样品的结晶程度变好,当退火温度达到590℃时结晶程度变差.
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