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YIG铁氧体单晶/薄膜生长工艺及成线技术
YIG铁氧体单晶/薄膜生长工艺及成线技术
来源 :磁性材料及器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wish_hjl
【摘 要】
:
简要介绍了YIG铁氧体块状单晶和YIG单晶薄膜常见的生长方法,重点报道了助熔剂法和液相外延工艺,最后对YIG铁氧体块状单晶和单晶薄膜的科研工艺线建设提出了切实可行的方案。
【作 者】
:
何水校
【机 构】
:
中国西南应用磁学研究所
【出 处】
:
磁性材料及器件
【发表日期】
:
2002年02期
【关键词】
:
YIG单晶生长
单晶薄膜
助熔剂法
液相外延
生产技术
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简要介绍了YIG铁氧体块状单晶和YIG单晶薄膜常见的生长方法,重点报道了助熔剂法和液相外延工艺,最后对YIG铁氧体块状单晶和单晶薄膜的科研工艺线建设提出了切实可行的方案。
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