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【摘 要】
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探讨了用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)在Si(100)衬底上加偏压电场和不加偏压电场情况下金刚石膜的成核行为.并经用原子力显微镜(AFM)分析,偏压电场对金刚石成核有促进
【机 构】
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【出 处】
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上海大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1999年06期
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