论文部分内容阅读
[!--newstext--]
[!--title--]
【摘 要】
：
介绍了一种以微米衍射光栅为敏感元件的微机电加速度计敏感头的加工和性能。硅质量块底部加工有铝反射膜,透明玻璃基底上制作有金微米光栅,中间为空气腔,经硅玻璃阳极键合,构
【机 构】
：
北京航空航天大学精密光机电一体化技术教育部重点实验室,北京航空航天大学新型惯性仪表与导航系统技术国防重点学科实验室
【出 处】
：
强激光与粒子束
【发表日期】
：
2015年2期
【基金项目】
：
supported by National Natural Science Foundation of China(60908016)
其他文献
为了验证国际热核聚变堆（ITER）的产氚和能量获取等性能,各国分别提出了不同的实验增殖模块（TBM）设计方案。其总体功能相同,但具体技术路线有区别,不同之处包括冷却剂选择、产氚材
重点中学如何为培养综合性人才打好厚实的基础，如何构建文理大综合的课程体系，如何激发学生学习数学的兴趣和培养应用意识、能力，如何进行研究性学习和多媒体技术的有效整合，重点
由中北大学研制的微机电系统（MEMS）矢量水听器具有小型化、低频性能好、灵敏度高、指向性好、价格低等特点，但目前该水听器对该低频水声信号的低频探测能力不够，所以进一步提高其
冯远，1952年生于上海。1980年毕业于浙江美术学院中国画研究生班并留校执教，曾任学院教务处长、副院长、教授等职，1999年任中华人民共和国文化部教育科技司司长，2001年任艺术司司
世界知名汽车制造商戴姆勒-克莱斯勒子公司克莱斯勒2月14日宣布，计划在三年内裁员1．3万人。戴-克集团董事长迪特尔·泽金当天也表示，公司已同意全部或部分出售克莱斯勒。
<正>新教材第二册(上)P59介绍了二元一次不等式表示平面区域的知识,说明了在直线Ax+By+C=0的某一侧选取一个特殊点(x0,y0),从Ax0+By0+C的正负来判断Ax十By+C>0表示直线哪一侧