论文部分内容阅读
为了快速获得无亚表面损伤光学表面，提出了一种新型的大气电弧射流等离子体加工方法，该方法的装置采用转移弧电弧放电原理产生大气射流等离子体，通过调节改变喷枪的气压及几何结构，对束斑的尺寸及能量密度进行调节，同时基于其束斑高能离子的物理效应，研究了大气条件下熔石英表面材料的加工工艺．实验结果表明：当采用等离子体喷枪嘴孔径2．5mm，作用距离为2．0mm时，对熔石英的峰值去除速率可达到82．9μm·min-1，单次抛光后，元件表面粗糙度Ra值由237nm下降到103nm．