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本文是用JEM-2000EX型电镜,对射频等离子体沉积的TiN薄膜进行具体分析,从而得到TiN的形貌及晶体结构。
TiN膜的电子显微分析
【摘 要】
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本文是用JEM-2000EX型电镜,对射频等离子体沉积的TiN薄膜进行具体分析,从而得到TiN的形貌及晶体结构。
【机 构】
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青岛化工学院机械系,青岛化工学院电镜室,青岛化工学院机械系
【出 处】
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青岛化工学院学报
【发表日期】
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1989年3期
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