【摘 要】
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目前,功率器件已经占据了分立器件增长最大、最快的部分。新能源产业在极大地推动功率半导体器件快速发展的同时,也提出了更高的要求,特别是太阳能电池、风力发电、新能源汽
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目前,功率器件已经占据了分立器件增长最大、最快的部分。新能源产业在极大地推动功率半导体器件快速发展的同时,也提出了更高的要求,特别是太阳能电池、风力发电、新能源汽车、工业电机等都要求器件工作在更高的电平、电流、功率和频率上。这给测试测量行业带来了新的挑战：漏电降低一个数量级,漏源导通电阻降低一个数量级。
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