【摘 要】
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硅烷工作液的水解度数据可为建槽过程中浓缩液稀释倍数以及硅烷工作液循环利用研究提供重要依据。以双-（3-三甲氧基硅基丙基）胺（BAS）和乙烯基三乙酰氧基硅烷（VTAS）的混合体系为研究
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硅烷工作液的水解度数据可为建槽过程中浓缩液稀释倍数以及硅烷工作液循环利用研究提供重要依据。以双-（3-三甲氧基硅基丙基）胺（BAS）和乙烯基三乙酰氧基硅烷（VTAS）的混合体系为研究对象,异丙醇为内标物,采用气相色谱内标法对BAS/VTAS体系中两种硅烷的水解产物CH_3OH和CH_3COOH的浓度进行精确定量,并通过计算得到两种硅烷的水解度数据。该方法的有效性采用红外光谱法、极化曲线和CuSO4点蚀法进行验证。结果表明：气相色谱法能够有效、快速地表征BAS/VTAS混合体系中两种硅烷的水解度,其结果可作
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