【摘 要】
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采用高温烧结和真空蒸发制备了CdTe光敏薄膜,探讨了制备工艺对CdTe薄膜性能和结构的影响,说明了在基片温度为130℃左右下制备的CdTe薄膜具有明显的光敏特性,并得到CdTe材料的禁带宽度为1.63eV。利用X衍射对
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采用高温烧结和真空蒸发制备了CdTe光敏薄膜,探讨了制备工艺对CdTe薄膜性能和结构的影响,说明了在基片温度为130℃左右下制备的CdTe薄膜具有明显的光敏特性,并得到CdTe材料的禁带宽度为1.63eV。利用X衍射对不同基片温度下制备的CdTe薄膜材料进行了结构分析,发现基片温度为130℃左右时制备的CdTe薄膜具有明显的衍射峰。
CdTe thin films were prepared by high temperature sintering and vacuum evaporation. The effects of preparation process on the properties and structure of CdTe thin films were discussed. The results showed that the CdTe thin films prepared at the substrate temperature of about 130 ℃ have obvious photosensitivity and obtained CdTe materials The band gap is 1.63eV. The structure of CdTe thin films prepared at different substrate temperatures was analyzed by X-ray diffraction. It was found that the CdTe thin films prepared at the substrate temperature of about 130 ℃ have obvious diffraction peaks.
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