PN结电容微分量频谱

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ujrcji54937
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本文用单一能级深陷阱模型研究了含深陷阱中心的PN结电容(C)及其微分量((dC)/(dω))与频率(ω)的关系,得到了相应的解析式.理论分析结果表明:电容微分量是一个具有峰值的函数,其峰值、峰位与深陷阱密度及载流子发射时间常数相关.由此提供了一种利用PN结的 C-ω特性确定深陷阱参数的新方法.用此方法,在室温(300K)条件下,测定了 P~+N结中的金受主能级的俘获截面σ_?=(5.6±0.8)×10~(-16)cm~2. In this paper, the relationship between the PN junction capacitance (C) and its derivative ((dC) / (dω)) and the frequency (ω) with a deep trap center has been studied by using a single energy level deep trap model and the corresponding analytic formulas have been obtained. The results show that the capacitance micro-component is a peak-dependent function whose peak and peak positions are related to the deep trap density and the carrier emission time constant, thus providing a method of determining the deep-trap parameters using the C-ω characteristics of the PN junction (5.6 ± 0.8) × 10 ~ (-16) cm ~ (-1) were obtained at room temperature (300K) 2.
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