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本文对可溶盐基片方法制备薄膜TEM样品进行了改进。改进后不仅保持了原可溶盐基片法方便、高效和快捷的特点,还可以根据表征需要获得薄膜在不同生长阶段微结构的样品。
一种气相沉积薄膜TEM样品制备技术——改进的可溶盐基片法
【摘 要】
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本文对可溶盐基片方法制备薄膜TEM样品进行了改进。改进后不仅保持了原可溶盐基片法方便、高效和快捷的特点,还可以根据表征需要获得薄膜在不同生长阶段微结构的样品。
【机 构】
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上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2012年1期
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