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【摘 要】
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德国Xtreme Technologies GmbH日前宣称在提高EUV光源的功率输出上超越了其目标，以寻求将甚超紫外线（EUV）光刻引入到芯片制造。
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2005年6期
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