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本文提出了一种用实验设计与模拟相结合对ＣＭＯＳ集成电路参数进行统计优化设计的方法，分析工艺因素设置及其起伏对电路参数的影响，建立起电路参数相对主要工艺因素变化的宏模型，并且模型公式找出使电路参数在预期值附近且偏差最小的优化工艺条件。
CMOS电路参数的统计优化设计
【摘 要】
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本文提出了一种用实验设计与模拟相结合对ＣＭＯＳ集成电路参数进行统计优化设计的方法，分析工艺因素设置及其起伏对电路参数的影响，建立起电路参数相对主要工艺因素变化的宏模型，并且模
【机 构】
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北京大学微电子学研究所
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1999年5期
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