退火气氛对BiFeO3薄膜电性能的影响

• 作 者: 王国强 刘红日
• 机 构: 郧阳师范高等专科学校物理与电子工程系,湖北师范学院物理与电子科学学院
• 出 处: 华中师范大学学报(自然科学版)
• 发表日期: 2011年3期
• 关键词: BIFEO3薄膜 溶胶-凝胶法 X射线衍射 铁电性 介电性能 BiFeO3 thin films sol-gel process X-ray diffracti

采用溶胶-凝胶法在氟掺杂SnO2／glass（FTO／glass）衬底上制备BiFeO3（BFO）薄膜，薄膜的退火气氛分别是空气、氧气、氮气，退火温度为500℃．XRD衍射图样表明BiFeO3薄膜结晶充分，没有杂相．剖面扫描电镜测试结果表明薄膜的厚度为600nm．铁电性测试表明在空气中退火的BiFeO3薄膜能够观察到饱和电滞回线，其剩余极化强度为53．9μC／cm^2；在氧气和氮气气氛中退火的BiFeO3薄膜的剩余极化强度分别为53．6μC／cm。和39．2μC／cm^2．在空气和氧气气氛中退火的BiFe