【摘 要】
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前言 钽的Ta_2O_5膜,漏电流小、绝缘强度好、介电系数大(21~25)、化学与热稳定性好;而且阳极氧化膜的厚度可由阳极化电压来控制,其电容量容易调节,所以很早以
Tantalum Ta_2
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前言 钽的Ta_2O_5膜,漏电流小、绝缘强度好、介电系数大(21~25)、化学与热稳定性好;而且阳极氧化膜的厚度可由阳极化电压来控制,其电容量容易调节,所以很早以
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