【摘 要】
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真空镀膜技术真空镀膜就是在真空环境下,采用各种物理、化学的方法使待镀材料呈原子、分子、离子或粒子团等状态沉积到某一固体(称为基板或衬底)表面上凝聚成膜的一种过程。
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真空镀膜技术真空镀膜就是在真空环境下,采用各种物理、化学的方法使待镀材料呈原子、分子、离子或粒子团等状态沉积到某一固体(称为基板或衬底)表面上凝聚成膜的一种过程。真空镀膜是一种最重要的薄膜制造技术。它能镀制薄膜的材料最为广泛,又能在各种各样固体的表面上生长成表面粘附良好的薄膜。制得的薄膜纯度高,薄膜的组分、生长速率和厚度在镀制过程中可进行控制,以及应用最为广泛。真空蒸发和溅射现象早在1857年和1902年分别由法拉第(Faraday)和戈德斯坦(Gol-
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