【摘 要】
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用TEA CO_2激光诱导四甲基硅烷的气相反应,合成了亚微米碳化硅粉末,工作气压为30～300torr(4-40×10~2Pa),激光功率密度为10~3W/cm~2量级。所得SiC颗粒纯弃高,球状,直径约0.2μ
【机 构】
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用TEA CO_2激光诱导四甲基硅烷的气相反应,合成了亚微米碳化硅粉末,工作气压为30～300torr(4-40×10~2Pa),激光功率密度为10~3W/cm~2量级。所得SiC颗粒纯弃高,球状,直径约0.2μm,体积分市均匀。粉末整体呈链状的疏松集合,可在乙醇中被分散。用付立叶变换红外光谱法与x射线荧光光谱法鉴定了产物的组成,用扫描电子显微镜与x射线衍射光谱法分析粉末状态与晶型。讨论了反应机理以及激光功率密度和容器尺寸对于反应的影响。
The gas phase reaction of tetramethylsilane was induced by TEA CO_2 laser to synthesize the submicron silicon carbide powder with working pressure of 30 ~ 300torr (4-40 × 10 ~ 2Pa) and laser power density of 10 ~ 3W / cm ~ 2 . The resulting SiC particles purely abandoned, spherical, diameter of about 0.2μm, the volume of sub-market uniform. Powder as a whole chain of loose collection, can be dispersed in ethanol. The composition of the product was characterized by Fourier transform infrared spectroscopy and x-ray fluorescence spectroscopy. The powder state and the crystal form were analyzed by scanning electron microscopy and x-ray diffraction spectrometry. The reaction mechanism and the influence of laser power density and container size on the reaction were discussed.
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