【摘 要】
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随着对小型电子产品和微电子元器件需求的日益增长,聚合物精密微处理日渐成为激光在工业中发展最快的应用领域之一。紫外激光是加工在微电子元器件工业中被普遍使用的塑料(
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随着对小型电子产品和微电子元器件需求的日益增长,聚合物精密微处理日渐成为激光在工业中发展最快的应用领域之一。紫外激光是加工在微电子元器件工业中被普遍使用的塑料(如聚酰亚胺)和金属(如铜)等材料的理想工具。固态激光器最新技术推动了新一代结构紧凑、全固态紫外激光器的发展,从而
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