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微波等离子体化学气相沉积是制备微／纳米结构的方法之一，使用该方法在陶瓷衬底上制备微米金刚石聚晶材料薄膜。利用扫描电子显微镜表征了材料的表面形貌，单元尺寸一致，分布均匀。使用X射线衍射和拉曼光谱分析了薄膜的结构，测试了薄膜材料的电子场发射性能。数据表明：制备的薄膜材料开启电场为1．25V／μm，在2．55V／μm的电场下，其电子场发射电流密度达到6．3mA／cm^2.