【摘 要】
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本文给出了在预试环中产生和维持辉光放电的基本参数、氢气(H_2)及氢气掺杂甲烷(H_2/CH_4)辉光放电清洗过程中的质谱分析结果以及氢气辉光放电清洗处理后的样品表面SIMS(二次
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本文给出了在预试环中产生和维持辉光放电的基本参数、氢气(H_2)及氢气掺杂甲烷(H_2/CH_4)辉光放电清洗过程中的质谱分析结果以及氢气辉光放电清洗处理后的样品表面SIMS(二次离子质谱)结果,并进行了讨论。
In this paper, the basic parameters of generating and maintaining glow discharge in pre-trial ring, the results of mass spectrometry in hydrogen (H 2) and hydrogen-doped methane (H 2 / CH 4) glow discharge cleaning, and the hydrogen glow discharge cleaning The SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry) results of the post-sample surface were discussed and discussed.
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