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基于同轴谐振腔密度测量原理建立了应用于密度测量的同轴谐振腔传感器模型,采用HFSS仿真软件对具有不同磁耦合环结构尺寸的同轴谐振腔进行仿真,通过比较磁耦合环S21曲线得出的优化参数为,耦合环起始点到腔体轴心距离L=24 mm,耦合环半径R=2 mm,耦合环角度θ=260°,同轴谐振腔在该参数下具有较优越的电磁特性,且分辨力较强.同时,以粉末硅为该同轴谐振腔的加载物料,采用得出的优化同轴谐振腔模型进行HFSS仿真.仿真结果表明,加载物料之后,同轴谐振腔S21曲线的谐振特性明显改变,其谐振频率f变化显著,