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<正>一、前言 倾角传感器已在测量机器以及土木、建筑杨器,地壳变动观察仪器,生产线和交通机械等方面得到广泛应用。最近,在医疗机器,机器人上也装起了倾角(姿态)传感器。今后这种传感器将在极限作业机器人和维修机器人的姿态控制方面发挥作用。但是,还没有能装在机器人手腕上的小型、轻量传感器,目前仍处于探索各种结构方法阶段。有人提出了利用液体系统作为实现倾角,可传感器小型化的方法。要使分辨率达到0.1°以下还存在各种困难。按照构成形态可将传感器分类成高分辨率微小角检测和低分辨率大旋转角检测两