【摘 要】
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在MEMS执行器的设计中,求出准确的Pull-in电压值是至关重要的。针对扭转式静电微执行器,采用串联电容方法来拓宽MEMS执行器的Pull-in行程,提出了相应的Pull-in模型,并给出了
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在MEMS执行器的设计中,求出准确的Pull-in电压值是至关重要的。针对扭转式静电微执行器,采用串联电容方法来拓宽MEMS执行器的Pull-in行程,提出了相应的Pull-in模型,并给出了算例的数值结果。这些结果对扭转式静电微执行器的设计具有一定的参考价值。
In the design of MEMS actuators, it is crucial to find the exact pull-in voltage. For torsional electrostatic microactuators, a series capacitance method is used to broaden the Pull-in stroke of the MEMS actuator. A corresponding Pull-in model is proposed and the numerical results are given. These results have certain reference value for the design of torsional electrostatic microactuators.
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