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摘要为了满足工业原子力显微镜高效检测的要求，提出了一种粗细相结合的自动进针方法。设计了快速的粗进针和慢速的精细进针二级进针控制系统硬件结构。针对工业半导体样品的特点，通过预标定方法保证粗进针动作快速到位。在精细进针阶段采用升降台步进动作和实时闭环检测，当检测到激光信号变化的值超过setpoint值时，完成进针操作。通过实验测试表明该方法有效减少了进针时间，提高了原子力显微镜的进针效率。