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Entegrislnc．近日宣布与湖北晶星科技股份有限公司（湖北晶星）签订协议，合作生产Entegris高纯度沉积产品。这些高纯度沉积产品包括硅酸四乙酯（TEOS），这种材料对于半导体制造领域采用的3DNAND技术至关重要，该技术用于生产速度更快的先进储存设备与内存。（来自Entegris）
Entegris与湖北晶星签订生产3DNAND关键材料协议
【摘 要】
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Entegrislnc．近日宣布与湖北晶星科技股份有限公司（湖北晶星）签订协议，合作生产Entegris高纯度沉积产品。这些高纯度沉积产品包括硅酸四乙酯（TEOS），这种材料对于半导体制造领域采用
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2017年10期
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