AlCrN涂层的残余热应力分析

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采用ANSYS有限元分析软件中的瞬态分析方法,对涂层刀具沉积过程中残余热应力进行了仿真分析。研究了AlCrN涂层残余热应力的大小、分布和影响因素。结果表明:由于涂层与基体材料的热膨胀系数不匹配,结合面区域存在严重的应力集中;基体材料、涂层厚度、沉积温度以及中间层的使用对残余应力有很大影响;基体材料为高速钢时,AlCrN涂层内残余应力大以压应力为主并随着涂层厚度的增加而减小;基体为硬质合金时,残余应力相对较小,涂层内以拉应力为主并随基体钴含量和涂层厚度的增加而减少;增加中间层可以减小残余应力。因此,通过涂层和不同基体匹配以及增加中间层可以缓和界面应力增强界面结合强度。 The transient thermal stress in the process of coating tool deposition was simulated and analyzed by using the transient analysis method in ANSYS finite element analysis software. The size, distribution and influencing factors of residual thermal stress of AlCrN coating were studied. The results show that due to the mismatch between the thermal expansion coefficient of the coating and the substrate, there is a serious stress concentration in the interface area. The matrix material, the coating thickness, the deposition temperature and the use of the interlayer have a great influence on the residual stress. In steel, the residual stress in AlCrN coating is mainly compressive and decreases with the increase of coating thickness. When the matrix is ​​cemented carbide, the residual stress is relatively small and the tensile stress is the dominant factor in the coating Matrix cobalt content and the thickness of the coating decreases; increase the intermediate layer can reduce the residual stress. Therefore, interfacial stress can be mitigated to enhance interfacial bonding strength by matching the coating with different substrates and adding an intermediate layer.
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