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<正> 微型机器人的最基本的部件是微型机电系统。它由微型传感器、作动器、微型开关、微型电机、微电子器件等组合到一块硅片上,用不锈钢、钛、玻璃、塑料等材料封装而成。它可以感应外界温度、压力、加速度、红外辐射等条件的变
微型机器人的发展动向
【摘 要】
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<正> 微型机器人的最基本的部件是微型机电系统。它由微型传感器、作动器、微型开关、微型电机、微电子器件等组合到一块硅片上,用不锈钢、钛、玻璃、塑料等材料封装而成。它
【出 处】
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全球科技经济瞭望
【发表日期】
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1997年6期
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