【摘 要】
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用N~+注入金属表面,研究了显微硬度与注入剂量D的关系。实验表明,注入后材料的表面硬度值并不随D的增加而单调增加,存在一个剂量阈值D_(th),只有用该阈值的N~+注入,才能使材
【机 构】
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西安石油学院,西安石油学院,西安石油学院 710061,710061,710061
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用N~+注入金属表面,研究了显微硬度与注入剂量D的关系。实验表明,注入后材料的表面硬度值并不随D的增加而单调增加,存在一个剂量阈值D_(th),只有用该阈值的N~+注入,才能使材料表面硬度得到最大程度的提高。另外,表面显微硬度还是负荷的函数,随着负荷的增加逐渐趋于基体的硬度值。我们用TRIM算法计算了注入后N~+的浓度分布和注入层损伤分布,讨论了它们对材料表面性能的影响。
N ~ + was injected into the metal surface to study the relationship between the microhardness and the dose D. The experimental results show that the surface hardness of the material does not monotonically increase with the increase of D, and there is a dose threshold D th (th). Only by using the threshold of N ~ + injection can the material surface hardness be maximized. In addition, the surface microhardness is a function of the load, which gradually tends to the hardness of the substrate as the load increases. We calculated the concentration distribution of N ~ + and the damage distribution of the implanted layer by using the TRIM algorithm, and discussed their effect on the surface properties of the material.
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