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【摘 要】
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以金属Cr和AlTi合金为靶材料，在沉积过程中引入SiH4气体，用自行设计的多靶阴极电弧离子镀系统在单晶硅和硬质合金衬底上沉积了CrAlTiN和CrAlTiSiN硬质涂层。通过X射线衍射（XRD）和
【机 构】
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武汉大学物理科学与技术学院,武汉大学动力与机械学院
【出 处】
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中国表面工程
【发表日期】
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2013年1期
【基金项目】
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科技部国际合作项目（2011DFR50580）,中国博士后科学基金会项目（2011M501229）
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