【摘 要】
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随着超大规模集成电路的发展,高浓度臭氧水溶液产生设备成为硅片清洗的关键设备。因此大连海事大学环境工程研究所研制成功国内首台dho3l系列高浓度臭氧水溶液设备,它的臭氧
【机 构】
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大连海事大学环境工程研究所,大连博羽环保技术开发有限公司
【基金项目】
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国家863资助项目（2008AA06Z317）, 国家自然科学基金资助项目（50778028）
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随着超大规模集成电路的发展,高浓度臭氧水溶液产生设备成为硅片清洗的关键设备。因此大连海事大学环境工程研究所研制成功国内首台dho3l系列高浓度臭氧水溶液设备,它的臭氧水浓度达到20～30 mg/L。该设备采用强电场电离放电方法,将O2和H2O电离成高浓度氧活性粒子O2＋、O3、O（1D）、O（3P）和引发剂HO2–,在引发剂HO2–作用下,O3与H2O生成高浓度臭氧水溶液。它具有臭氧水浓度高、自动化程度高、能耗低、体积小、高性价比等特点,并着重阐述了该设备的技术先进性及性能指标。
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