化学汽相淀积及其应用

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大约80年前,人们就看到化学汽相淀积(CVD)工业化发展的前景,现在CVD已广泛用来制取各种薄膜或涂层,例如具有优良的电、光和磁学特性的薄膜,冶金、原子能和宇航用的高温耐腐蚀涂层,民用的有色超硬涂层等。用 About 80 years ago, people saw the prospect of the industrialized development of chemical vapor deposition (CVD). CVD is now widely used to make films or coatings such as films with excellent electrical, optical and magnetic properties , High-temperature corrosion-resistant coatings for metallurgy, atomic energy and aerospace, and civilian colored super-hard coatings. use
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