【摘 要】
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采用闭合场非平衡磁控溅射技术,通过控制溅射过程工艺参数制备出Cr7C3多层复合镀层。用X射线衍射仪对镀层微观结构进行分析,用透射电子显微镜观测镀层的表面形貌和断口形貌,
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采用闭合场非平衡磁控溅射技术,通过控制溅射过程工艺参数制备出Cr7C3多层复合镀层。用X射线衍射仪对镀层微观结构进行分析,用透射电子显微镜观测镀层的表面形貌和断口形貌,对镀层的附着强度、硬度、摩擦和磨损性能进行了测试,并用光学显微镜观察了镀层磨损形貌特征。结果表明：镀层的结构是非晶态的,主要由Cr7C3组成,还有少量的Cr3C2和其他物质;镀层微观结构均匀致密;镀层有较好的结合力、较高的硬度、良好的载荷承载能力和寿命可靠性,有优异的摩擦和耐磨性能,在大气中滑动干摩擦因数稳定在0.10～0.15之间,磨损率
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