【摘 要】
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综述了几种用于监控薄膜外延生长的光学原位实时监测方法的进展。其中光反射差法/光反射各向异性谱(RDS/RAS)和p偏振反射谱(PRS),表面光吸收(SPA),椭偏仪(SE)等。在外延过程中已观测到了薄膜层状外延周期
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综述了几种用于监控薄膜外延生长的光学原位实时监测方法的进展。其中光反射差法/光反射各向异性谱(RDS/RAS)和p偏振反射谱(PRS),表面光吸收(SPA),椭偏仪(SE)等。在外延过程中已观测到了薄膜层状外延周期振荡。
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