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利用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术,在单晶硅基底表面制备含氢类富勒烯碳基薄膜.采用FEI Tecnai F30型高分辨透射电镜（HRTEM）和LABRAM HR 800型拉曼光谱仪对薄膜的结构进行表征;利用摩擦磨损试验机、奥林巴斯STM6测量显微镜和X射线光电子能谱仪（XPS）分析比较薄膜在干摩擦与离子液体1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐（L-B102）润滑条件下的表界面特性.实验结果表明：所制备的碳基薄膜具有典型的类富勒烯结构;在离子液体作为润滑剂条件下,含氢类富勒烯碳基薄膜在低频率摩擦时表