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我们一方面欣喜于MEMS产品在中国市场的快速应用，另一方面当被问及中国的MEMS产品制造现状时，叶雄英教授表示中国自行生产的MEMS产品多数用于特殊应用领域，用于民用领域的产品极少。李刚博士也认为，目前中国自产的MEMS产品只是在工业级和军工中有少量应用。
消费电子及特种应用是我国MEMS突破口
【摘 要】
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我们一方面欣喜于MEMS产品在中国市场的快速应用，另一方面当被问及中国的MEMS产品制造现状时，叶雄英教授表示中国自行生产的MEMS产品多数用于特殊应用领域，用于民用领域的产品极
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2007年7期
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