氢原子在金刚石(001)表面沉积的分子动力学模拟

来源 :西南民族大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:angelfang555
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利用分子动力学模拟方法,研究了氢原子在金刚石表面的沉积机理.调查了氢原子的入射能量、入射点位置、入射姿势及衬底温度对其在金刚石(001)表面沉积的影响.研究发现氢原子的入射能量、入射姿势及碰撞点位置对其沉积的影响很大;而在常温和低温下,衬底温度对其沉积的影响较小.这对进一步探索实验条件对薄膜质量的影响具有重要的意义.
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