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文章介绍了集成微电路基板清洗领域的ODS替代清洗技术,着重介绍了十槽式超声波清洗机在高精度的集成电路清洗工艺中的具体应用
集成微电路基板清洗新技术与ODS清洗技术
【摘 要】
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文章介绍了集成微电路基板清洗领域的ODS替代清洗技术,着重介绍了十槽式超声波清洗机在高精度的集成电路清洗工艺中的具体应用
【机 构】
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广州合琪环保科技有限公司510070
【出 处】
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洗净技术
【发表日期】
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2004年9期
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