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【摘 要】
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半导体器件物理与工艺课程主要让学生掌握半导体基本理论,器件基本结构、物理原理、特性及主要工艺技术对器件性能的影响。为了简化课程教学难度,提高教学质量,引入TCAD综合
【机 构】
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电子科技大学中山学院电子信息学院
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2019年6期
【基金项目】
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广东省教育厅质量工程和高等教育教学改革项目“基于学生能力培养的互联网+背景下微电子器件混合式教学资源建设”(编号:SJY201804)、“半导体物理”(编号:S-ZXKC201803);全国教育信息技术研究课题“基于互联网+混合式教学资源开发与应用研究——半导体物理器件课程为例”(编号:186140105)、“基于云平台的数字资源建设与教与学互动应用研究——以半导体物理课程为例”(编号:176
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