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在低温和常压下，通过电解甲醇和氨水混合溶液，在硅基片上进行沉积掺氮碳膜的尝试，得到了含氮８％的类金刚石薄膜。通过拉曼光谱和Ｘ光电子能谱对样品的测试表明：碳和氮在薄膜中是以ｓｐ＾２和ｓｐ＾３进行化学成键，本文还提出了液相掺氮碳膜生长的化学机制。
液相法制备掺氮碳膜的实验研究
【摘 要】
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在低温和常压下，通过电解甲醇和氨水混合溶液，在硅基片上进行沉积掺氮碳膜的尝试，得到了含氮８％的类金刚石薄膜。通过拉曼光谱和Ｘ光电子能谱对样品的测试表明：碳和氮在薄膜中是以ｓｐ＾２和ｓｐ＾３进
【机 构】
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苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料实验室,215006
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1999年5期
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