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中国计量科学研究院正在积极开展用于计量的量子器件的研究,包括用于电阻基标准的量子化霍尔器件的研制和用于电压基标准的约瑟夫森结阵列的研制等。后者所用材料是工作在低温下的超导材料,属于超导量子器件。对于超导量子器件,超导线圈的自感是一个重要参数。本文介绍了微纳米超导线圈的自感随着线圈参数、材料参数和外加信号频率变化的数值计算结果,这为超导约瑟夫森结阵列器件的设计和制作提供了重要的参考资料。