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【摘 要】
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A gas cluster ion beam(GCIB) system with cluster energy up to 12 keV has been designed. To facilitate pumping of the nozzle chamber and increased pressure of th
【机 构】
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Key Laboratory of Artificial Micro-and Nano-Materials of Ministry of Education and Hubei Nuclear Sol
【出 处】
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Chinese Physics C
【发表日期】
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2017年08期
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