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采用V2O5熔体淬水制成胶体，并浸涂于不同的基片上，分别用于电阻检测和组织结构分析。经过真空加热分解V2O5凝胶薄膜，得到了具有相变特性的VO2薄膜。在真空热处理温度为500℃，时间为34h，真空气压为2Pa，得到的VO2相变薄膜电阻突变量级达3.4，相变温度在67℃左右。另外，TEM组织观察表明，VO2薄膜为多晶组织，VO2薄膜晶粒尺寸对电阻突变量级影响较大。晶粒尺寸增加，电阻突变量级增大。VO2晶界对相变有阻碍作用。